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J-GLOBAL ID：200902163426471033   整理番号：01A0185330

CH₄/N₂/Ar混合気体から析出させた窒素含有ナノ結晶性ダイヤモンド膜の構造と電気化学的挙動

The Structure and Electrochemical Behavior of Nitrogen-Containing Nanocrystalline Diamond Films Deposited from CH₄/N₂/Ar Mixtures.

著者 (6件)： CHEN Q (Argonne National Lab., Illinois, USA) ,  GRUEN D M (Argonne National Lab., Illinois, USA) ,  KRAUSS A R (Argonne National Lab., Illinois, USA) ,  CORRIGAN T D (Argonne National Lab., Illinois, USA) ,  WITEK M (Utah State Univ., Utah, USA) ,  SWAIN G M (Utah State Univ., Utah, USA)
資料名： Journal of the Electrochemical Society  (Journal of the Electrochemical Society)
巻： 148  号： 1  ページ： E44-E51  発行年： 2001年01月 
JST資料番号： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 導電性SiおよびW基板上にCH₄/N<...

シソーラス用語： *プラズマCVD ,...

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分類 (2件)： 電極過程  (CB07040U) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (3件)： メタン ,  メチルビオロゲン ,  4-メチルカテコール

タイトルに関連する用語 (8件)： N2 ,  Ar ,  混合気体 ,  析出 ,  窒素 ,  ナノ結晶 ,  ダイヤモンド膜 ,  電気化学的挙動