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J-GLOBAL ID：200902163508385933   整理番号：94A0241162

大気圧中レーザーPVD法によるダイヤモンド状炭素成膜 アブレーションプルムの発光スペクトル特性

Synthesis Technique of Diamond-like Carbon Filmes by Laser Physical Vapor Deposition Method in Atomosphere.

著者 (4件)： 鈴木薫 (日本大 理工) ,  谷山哲哉 (日本大 理工) ,  中田順治 (日本大 理工) ,  升谷孝也 (日本大)
資料名： 日本大学理工学部学術講演会講演論文集
巻： 37th  ページ： 753-754  発行年： 1993年 
JST資料番号： G0609B  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気圧 ,  レーザー ,  PVD ,  ダイヤモンド状炭素 ,  成膜 ,  スペクトル特性