低圧部分イオン化プラズマ及び装置  容量結合磁気ヌルプラズマ中の電子の運動のモデリング

SUNG Y-M; OKRAKU-YIRENKYI Y; OTSUBO M; HONDA C; UCHINO K; MURAOKA K

文献

J-GLOBAL ID：200902164201555544 整理番号：02A0550161

低圧部分イオン化プラズマ及び装置容量結合磁気ヌルプラズマ中の電子の運動のモデリング

Modeling of the Electron Motion in a Capacitively Coupled Magnetic Null Plasma.

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資料名：
巻： 30 号： 1,Pt.1 ページ： 142-143 発行年： 2002年02月
JST資料番号： D0036B ISSN： 0093-3813 CODEN： ITPSBD 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

広い範囲にわたり集積回路の薄膜の均一なスパッタプロセシングが...

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プラズマ装置

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低圧部分イオン化プラズマ及び装置 容量結合磁気ヌルプラズマ中の電子の運動のモデリング

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