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J-GLOBAL ID：200902164308652569   整理番号：93A0609780

エキシマレーザ励起気相反応によるSi系化合物超微粒子の合成

Synthesis of ultla-fine-particles of Si compounds by excimer laser induced vapor phase reaction.

著者 (5件)： 田中吉積 (宇部興産) ,  末益猛 (宇部興産) ,  山田哲夫 (宇部興産) ,  寺井健二 (宇部興産) ,  藤井一宏 (宇部興産)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 40th  号： Pt 1  ページ： 55  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： エキシマレーザ ,  励起 ,  気相反応 ,  Si ,  超微粒子