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J-GLOBAL ID：200902164464473720   整理番号：93A0887146

2次元磁界センシングに対する垂直Hall素子のシミュレーション,設計と作製

Simulation, Design and Fabrication of a Vertical Hall Device for Two-Dimensional Magnetic Field Sensing.

著者 (3件)： PARANJAPE M (Univ. Alberta, Edmonton, CAN) ,  RISTIC L (Motorola Inc., AZ) ,  ALLEGRETTO W (Univ. Alberta, Edmonton, CAN)
資料名： Sensors and Materials  (Sensors and Materials)
巻： 5  号： 2  ページ： 91-101  発行年： 1993年 
JST資料番号： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新2次元微細加工した垂直Hall磁界センサを設計し,標準CM...

シソーラス用語： Hall素子 ,...

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分類 (2件)： 磁電デバイス  (NC03100X) ,  磁気の計測法・機器  (AD07060U)

タイトルに関連する用語 (8件)： 2次元 ,  磁界 ,  センシング ,  垂直 ,  Hall素子 ,  シミュレーション ,  設計 ,  作製