超高真空中で使用するための小型微小位置決め装置

CURTIS R; PEARSON C; GAARD P; GANZ E

文献

J-GLOBAL ID：200902164845264370 整理番号：93A0878993

超高真空中で使用するための小型微小位置決め装置

A compact micropositioner for use in ultrahigh vacuum.

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資料名：
巻： 64 号： 9 ページ： 2687-2690 発行年： 1993年09月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

大気中または超高真空中で使用する運動範囲が1.4cmで大きさ...

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顕微鏡法 , 真空技術

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