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J-GLOBAL ID:200902165049460768   整理番号:93A0438127

Observation, analysis, and simulation of the hysteresis of silicon using ultra-micro-indentation with spherical indenters.

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巻:号:ページ: 830-840  発行年: 1993年04月 
JST資料番号: D0987B  ISSN: 0884-2914  CODEN: JMREEE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)

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