光学素子・光学部品のマイクロポリシング法の研究  CVD-SiCミラーの超精密ポリシング

文献

J-GLOBAL ID：200902165161557359 整理番号：99A0012756

Study on Micro-Polishing for Optical Element and Components. Ultraprecision Polishing of CVD-SiC Mirrors.

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資料名：
巻： 1998 ページ： 365-368 発行年： 1998年
JST資料番号： L0894A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

新しい光源を用いる露光法を実現する目的で使用する光学素子加工...

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研削 , 光デバイス一般

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