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J-GLOBAL ID:200902165348379829 整理番号:93A0152443
実用化目前のマイクロマシン技術 静電アクチェエータ
Micromachining technology just before practical application.Electrostatic actuator.
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著者 (1件):
樋口俊郎
樋口俊郎 について
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(
東大 工
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東大 工 について
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資料名:
センサ技術 (Sensor Technology (Tokyo))
センサ技術 について
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巻:
13
号:
1
ページ:
68-72
発行年:
1993年01月
JST資料番号:
S0554B
ISSN:
0285-5348
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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電荷間に働くクーロン力を利用して駆動力を発生する静電アクチュ...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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静電気応用
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