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J-GLOBAL ID：200902165499863218   整理番号：96A0367329

グラッシーカーボンのマイクロ穴あけ加工

Micro drilling of glassy carbon with micro abrasive jet machining.

著者 (3件)： 金原摂 (東北大 大学院) ,  厨川常元 (東北大 工) ,  庄司克雄 (東北大 工)
資料名： 砥粒加工学会学術講演会講演論文集  (ABTEC)
巻： 1995  ページ： 405-408  発行年： 1995年 
JST資料番号： L0894A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロ・アブレイシブ・ジェット・マシニングを用いて難加工材...

シソーラス用語： ガラス状炭素 ,...
準シソーラス用語： 工作精度

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分類 (3件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (3件)： グラッシーカーボン ,  マイクロ ,  穴あけ加工