c面サファイア上のZnOのプラズマ支援分子ビームエピタクシー  成長と特性評価

CHEN Y; BAGNALL D M; KOH H-J; PARK K-T; HIRAGA K; ZHU Z; YAO T

文献

J-GLOBAL ID：200902165540462594 整理番号：98A0949536

c面サファイア上のZnOのプラズマ支援分子ビームエピタクシー成長と特性評価

Plasma assisted molecular beam epitaxy of ZnO on c-plane sapphire: Growth and characterization.

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資料名：
巻： 84 号： 7 ページ： 3912-3918 発行年： 1998年10月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

酸素マイクロ波プラズマ支援MBEによって標記ZnO単結晶薄膜...

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酸化物薄膜

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