酸性よう素溶液によるInPのエッチング 反応速度的および電気化学的研究

VERMEIR I E; GOMES W P

文献

J-GLOBAL ID：200902165581859920 整理番号：96A0472921

酸性よう素溶液によるInPのエッチング反応速度的および電気化学的研究

The Etching of InP by Acidic Iodine Solutions. A Kinetic and Electrochemical Study.

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巻： 143 号： 4 ページ： 1319-1325 発行年： 1996年04月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

酸性I₂+I^-溶...

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固体デバイス製造技術一般 , 塩

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