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J-GLOBAL ID：200902165690383226   整理番号：99A0932948

AFMプローブアレイの作製

著者 (4件)： 八木隆行 (キヤノン) ,  島田康弘 (キヤノン) ,  山崎剛生 (キヤノン) ,  瀧本清 (キヤノン)
資料名： 電子情報通信学会大会講演論文集  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集)
巻： 1999  号： ソサイエティ C2  ページ： 162-163  発行年： 1999年08月16日 
JST資料番号： G0508A  ISSN： 1349-1369  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(AFM)を用いて様々な試料表面の観察が可能と...

シソーラス用語： プローブ ,...
準シソーラス用語： AFM【顕微鏡】 ,...

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分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (4件)： AFM ,  プローブ ,  アレイ ,  作製