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J-GLOBAL ID：200902165973961773   整理番号：98A0736289

プラズマ浸漬イオン注入によるイオン支援表面改質

Ion-assisted surface modification by plasma immersion ion implantation.

著者 (4件)： COLLINS G A (Australian Nuclear Sci. and Technol. Organisation, NSW, AUS) ,  HUTCHINGS R (Australian Nuclear Sci. and Technol. Organisation, NSW, AUS) ,  SHORT K T (Australian Nuclear Sci. and Technol. Organisation, NSW, AUS) ,  TENDYS J (Australian Nuclear Sci. and Technol. Organisation, NSW, AUS)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 103/104  ページ： 212-217  発行年： 1998年05月 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ浸漬イオン注入は,殆ど全てのプラズマによる表面処理に...

シソーラス用語： *イオン注入 ,...
準シソーラス用語： プラズマ浸漬イオン注入 ,...

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分類 (2件)： 金属の放射線による構造と物性の変化  (BK16122N) ,  その他の表面処理  (WC08070F)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ浸漬イオン注入 ,  イオン ,  支援 ,  表面改質