部分被覆流体充満キャビティ内の物質輸送

文献

J-GLOBAL ID：200902166201227671 整理番号：00A0375730

Mass transport in a partially covered fluid-filled cavity.

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巻： 43 号： 10 ページ： 1823-1835 発行年： 2000年05月
JST資料番号： C0390A ISSN： 0017-9310 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

湿式化学エッチングに関連して,エッチ孔内部の溶解物質の濃度場...

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装置内の物質移動及び一般 , 薄膜成長技術・装置

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