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J-GLOBAL ID：200902166453793831   整理番号：02A0858495

ポリイミドヒンジMEMSミラーのDC駆動特性

著者 (7件)： 内山明男 (明治大 理工) ,  伊藤日出男 (産業技術総合研) ,  中村嘉志 (産業技術総合研) ,  西村拓一 (産業技術総合研) ,  山本吉伸 (産業技術総合研) ,  根本俊雄 (明治大 理工) ,  中島秀之 (産業技術総合研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 63rd  号： 3  ページ： 854  発行年： 2002年09月24日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *反射鏡 ,...
準シソーラス用語： レーザレーダ

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分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (3件)： MEMSミラー ,  DC ,  駆動特性