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J-GLOBAL ID：200902166671056482   整理番号：93A0401590

高抵抗Fe-BN膜における成膜条件と磁気特性の関係

Relationship between Deposition Conditions and the Magnetic Properties of Highly Resistive Fe-BN Films.

著者 (5件)： 古川伸治 (アモルファス・電子デバイス研) ,  大沼繁弘 (アモルファス・電子デバイス研) ,  松本文夫 (アモルファス・電子デバイス研) ,  藤森啓安 (東北大 金材研) ,  増本健 (東北大 金材研)
資料名： 日本応用磁気学会誌  (Journal of the Magnetics Society of Japan)
巻： 17  号： 2  ページ： 339-344  発行年： 1993年04月 
JST資料番号： Z0944A  ISSN： 0285-0192  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 成膜時に膜に負電圧を印加することによって磁気特性のスパッタ圧...

シソーラス用語： 鉄化合物 ,...
準シソーラス用語： 圧力依存性

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  その他の無機化合物の磁性  (BM06060P)

引用文献 (12件)：

• 1) H. Karamon, T. Masumoto and T. Makino: J. Appl. Phys., 57(1), 15 April, 3527 (1985).
• 2) H. Karamon: J. Appl. Phys., 63(8), 15 April, 4309 (1988).
• 3) H. Matsuyama, H. Eguchi and H. Karamon: J. Appl. Phys., 67(9), 1 May, 5123 (1990).
• 4) M. Hayashide, S. Ohnuma, F. Matsumoto, H. Fujimori and T. Masumoto: IEEE Trans. Magn. Jpn., 7(4), April, 306 (1992).
• 5) L. I. Maissel and P. M. Schaible: J. Appl. Phys., 36(1), 237 (1965).

タイトルに関連する用語 (4件)： Fe ,  BN ,  成膜条件 ,  磁気特性