ジメチル亜鉛とH<sub>2</sub>Seを用いた常圧有機金属気相エピタキシーによるZnSeエピ層の成長時における紫外線照射の効果

ALTON A C; YODO T

文献

J-GLOBAL ID：200902167112562668 整理番号：93A0682924

ジメチル亜鉛とH₂Seを用いた常圧有機金属気相エピタキシーによるZnSeエピ層の成長時における紫外線照射の効果

Effects of ultraviolet irradiation during growth of ZnSe epilayers by atmospheric pressure metalorganic vapor-phase epitaxy using dimethyl zinc and H₂Se.

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資料名：
巻： 130 号： 3/4 ページ： 405-410 発行年： 1993年06月
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

常圧有機金属気相エピタクシーによるアンドープZnSeのエピタ...

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半導体薄膜

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ジメチル亜鉛とH2Seを用いた常圧有機金属気相エピタキシーによるZnSeエピ層の成長時における紫外線照射の効果

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