文献
J-GLOBAL ID:200902167251446478 整理番号:93A0554272
4ビームによる直接的空間位置決め法
Microscopic Coordinate Measurement by Four-beam Laser Interferometry.
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著者 (2件):
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後藤充夫
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資料名:
精密工学会誌 (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
精密工学会誌 について
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巻:
59
号:
6
ページ:
1019-1024
発行年:
1993年06月
JST資料番号:
F0268A
ISSN:
0912-0289
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
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引用文献 (4件):
1) O. Nakamura and M. Goto : Laser Interferometric Calibration of Microscan Mechanisms by Using Three Laser Beams, Prec. Eng., 15, 1, (1993) 39.
2) 南 茂夫, 河口広司, 一瀬光之尉編 : 機器分析のためのパソコンテクニック, 講談社, (1991) 66.
3) O. Nakamura, M. Goto, K. Toyoda, Y. Tanimura and T. Kurosawa : Development of a Coordinate Measuring System with Tracking Laser-interferometers, Ann. CIRP, 40, 1, (1991) 523.
4) M. Tanaka, T. Yamaguchi and K. Nakayama : Linear Interpolation of Periodic Error in a Heterodyne Laser Interferometer at Subnanometer Levels, IEEE Trans. on Inst. & Meas., 38, (1989) 552.
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