走査型トンネルプロープ支援ナノリソグラフィーによる個々のInAs量子ドットのサイト制御自己組織化

KOHMOTO S; NAKAMURA H; ISHIKAWA T; ASAKAWA K

文献

J-GLOBAL ID：200902167612553622 整理番号：00A0086086

走査型トンネルプロープ支援ナノリソグラフィーによる個々のInAs量子ドットのサイト制御自己組織化

Site-controlled self-organization of individual InAs quantum dots by scanning tunneling probe-assisted nanolithography.

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巻： 75 号： 22 ページ： 3488-3490 発行年： 1999年11月29日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標記リソグラフィーと自己組織化MBEを用いて標記制御技術を開...

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半導体薄膜

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