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J-GLOBAL ID：200902167735399075   整理番号：93A0682679

粗い表面に対する干渉法によるプロフィラ

Interferometric profiler for rough surfaces.
著者 (1件)：
CABER P J

CABER P J について

(WYKO Corp., Arizona)

WYKO Corp., Arizona について


資料名：
Applied Optics  (Applied Optics)

Applied Optics について


巻： 32  号： 19  ページ： 3438-3441  発行年： 1993年07月01日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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表面凹凸を通常の干渉法で測定する場合は急激な勾配部分での位相...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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プロフィルメータ

プロフィルメータ について

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分類 (1件)：
分類
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干渉測定と干渉計 
(BD07070G)

干渉測定と干渉計 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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干渉法

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フィラ

フィラ について


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