文献
J-GLOBAL ID:200902168057511427
整理番号:96A0308263
エキシマレーザーによるTiN薄膜の形成
Formation of TiN thin film by excimer laser.
-
出版者サイト
複写サービスで全文入手
{{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=96A0308263©=1") }}
-
高度な検索・分析はJDreamⅢで
{{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A0308263&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=X0010A") }}