文献
J-GLOBAL ID:200902168117930505   整理番号:93A0487071

ヘリコン波放電を用いた小型イオンビーム発生装置

Compact Ion Beam Source by Use of a Helicon Wave Discharge.
著者 (3件):
資料名:
巻: 10th  ページ: 208  発行年: 1993年03月 
JST資料番号: Y0877A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです

前のページに戻る