文献

J-GLOBAL ID：200902168303474315   整理番号：00A0151773

砥粒加工による超薄型水晶の加工技術

Processing Technology of Ultra-Thin Quartz with Abrasives.

著者 (4件)： 萩野隆 (熊本大 大学院) ,  峠睦 (熊本大 工) ,  渡辺純二 (熊本大 工) ,  大淵慶史 (熊本大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 66  号： 1  ページ： 69-73  発行年： 2000年01月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 従来の両面ラッピングでは30μm厚みが限界の水晶振動子等の水...

シソーラス用語： *水晶振動子 ,...
準シソーラス用語： *ラップ仕上

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=00A0151773&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  研削  (QC03000R)

引用文献 (8件)：

• HEISING, R. A. Quartz Crystals for Electrical Circuits, Their Design and Manufacture. 1978, 1
• 井田一郎. オーバートーン水晶発振子のラッピング. 精密機械. 1959, 25, 8, 305
• 井田一郎. 水晶板ポリシングの研究. 精密機械. 1959, 25, 9, 357
• 峠睦. Mn-Zn系フェライトのラッピング加工に関する研究. 日本機械学会論文集C編. 1995, 61, 587, 474
• 河西敏雄. ピッチポリシングにおける圧力分布の解析 - 遊離砥粒による平行平面加工(第1報). 精密機械. 1977, 43, 2, 149

タイトルに関連する用語 (3件)： 砥粒加工 ,  超薄型 ,  水晶