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J-GLOBAL ID：200902168525037860   整理番号：95A0126188

イオンビーム併用エキシマレーザPVD法によるモリブデン膜の形成

Deposition of Mo Films by Ion Beam Assisted Excimer Laser PVD Method.

著者 (4件)： 矢野哲夫 (四国工技研) ,  大家利彦 (四国工技研) ,  米田理史 (四国工技研) ,  勝村宗英 (四国工技研)
資料名： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
巻： 58  号： 12  ページ： 1429-1435  発行年： 1994年12月 
JST資料番号： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： エキシマレーザ・アブレーション法でレーザ照射条件を変えてMo...

シソーラス用語： イオンビーム蒸着 ,...

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分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (5件)： イオンビーム ,  併用 ,  エキシマレーザ ,  PVD ,  モリブデン膜