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J-GLOBAL ID：200902168606087233   整理番号：98A0027157

FIB加工とマイクロマニピュレーション技術を用いたTEM試料作製法

TEM Specimen Preparation Technique using FIB Fabrication and Micromanipulation.

著者 (4件)： 富松聡 (日立 中研) ,  間所祐一 (日立 中研) ,  梅村馨 (日立 中研) ,  川浪義実 (日立 中研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 58th  号： 2  ページ： 666  発行年： 1997年10月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： FIB ,  マイクロマニピュレーション ,  TEM ,  試料作製