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J-GLOBAL ID：200902168634216022   整理番号：94A0067374

Intra-granular microstructure and stress in sputtered tungsten thin films.

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著者 (6件)：
RAVET M F

RAVET M F について

(Lab. Microstructures et Microelectronique, CNRS, Bagneux, FRA)

Lab. Microstructures et Microelectronique, CNRS, Bagneux, FRA について

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BADAWI K F

BADAWI K F について

(Lab. Metallurgie Physique, CNRS, Poitiers, FRA)

Lab. Metallurgie Physique, CNRS, Poitiers, FRA について

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DURAND N

DURAND N について

(Lab. Metallurgie Physique, CNRS, Poitiers, FRA)

Lab. Metallurgie Physique, CNRS, Poitiers, FRA について

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LAFONTAINE H

LAFONTAINE H について

(Lab. Microstructures et Microelectronique, CNRS, Bagneux, FRA)

Lab. Microstructures et Microelectronique, CNRS, Bagneux, FRA について

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BARNOLE V

BARNOLE V について

(France-Telecom CNET, Bagneux, FRA)

France-Telecom CNET, Bagneux, FRA について

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HAGHIRI-GOSNET A

HAGHIRI-GOSNET A について

(Lab. Microstructures et Microelectronique, CNRS, Bagneux, FRA)

Lab. Microstructures et Microelectronique, CNRS, Bagneux, FRA について


資料名：
Materials Aspects of X-Ray Lithography  (Materials Aspects of X-Ray Lithography)

Materials Aspects of X-Ray Lithography について


ページ： 259-264  発行年： 1993年 
JST資料番号： K19930661  ISBN： 1-55899-202-2  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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