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J-GLOBAL ID：200902168751940734   整理番号：02A0896161

低誘電率ケイ素-ポラジンポリマーの合成,薄膜化と特性評価

著者 (3件)： 内丸祐子 (産業技術総合研) ,  甲田直子 (産業技術総合研) ,  柳沢寛 (ASET)
資料名： 高分子学会予稿集  (Polymer Preprints, Japan)
巻： 51  号： 12  ページ： 3077-3078  発行年： 2002年09月18日 
JST資料番号： Z0703B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： ヒドロシリル化 ,...

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分類 (2件)： 共重合  (CG04030D) ,  高分子固体の物理的性質  (CG02024U)

物質索引 (2件)： 2,4,6-トリエチニル-1,3,5-トリメチルボラジン ,  2,4,6,8-テトラメチルシクロオクタンテトラシロキサン

タイトルに関連する用語 (4件)： 低誘電率 ,  ケイ素 ,  薄膜化 ,  特性評価