原子間力顕微鏡(AFM)によるシリコンのマイクロ隆起加工

文献

J-GLOBAL ID：200902168757685698 整理番号：00A0076421

Microprotuberance Processing of Silicon by Diamond Tip Scanning.

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巻： 65 号： 12 ページ： 1788-1792 発行年： 1999年12月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

大気中で標記加工によるnmオーダの隆起加工法を調べた。盛上り...

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特殊加工

引用文献 (24件)：

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