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J-GLOBAL ID：200902168803358214   整理番号：99A0061891

Ti-Nbコンポジット膜の表面偏析とスマートゲッタ材料へのその応用

The surface segregation of Ti-Nb composite film and its application to a smart getter material.

著者 (2件)： YOSHITAKE M (National Res. Inst. Metals, Ibaraki, JPN) ,  YOSHIHARA K (National Res. Inst. Metals, Ibaraki, JPN)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 51  号： 3  ページ： 369-376  発行年： 1998年11月 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ti基板上に堆積したNb膜を真空中で加熱することにより作製し...

シソーラス用語： *チタン ,...

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分類 (2件)： 真空技術  (BA02020L) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (6件)： Ti ,  Nb ,  コンポジット膜 ,  表面偏析 ,  ゲッタ ,  応用