反応性スパッタによるCuO/Cu<sub>3</sub>N積層膜の作製

文献

J-GLOBAL ID：200902168977065852 整理番号：94A0240942

反応性スパッタによるCuO/Cu₃N積層膜の作製

Synthesis of Multilayered CuO/Cu₃N Thin Film by Reactive Sputtering.

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資料名：
巻： 37th ページ： 151-152 発行年： 1993年
JST資料番号： G0609B 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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