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J-GLOBAL ID：200902169035156956   整理番号：01A0059367

大体積電子ビーム励起プラズマにおける窒素分子の高度解離

High Degree of Dissociation of Nitrogen Molecules in Large-Volume Electron-Beam-Excited Plasma.

著者 (7件)： TANIGUCHI K (Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN) ,  SUGIMOTO M (Akita Prefectural Univ., Akita, JPN) ,  MASUKO S (Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN) ,  KOBAYASHI T (Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN) ,  HAMAGAKI M (Inst. Physical and Chemical Res.(RIKEN), Saitama, JPN) ,  ABRAHA P (Meijo Univ., Nagoya, JPN) ,  HARA T (Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 39  号： 10A  ページ： L999-L1001  発行年： 2000年10月01日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子窒素は薄膜作製やその特性改質などの分野で近年注目を集めて...

シソーラス用語： *窒素 ,...
準シソーラス用語： *プラズマプロセシング

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分類 (2件)： 電子と分子の衝突・散乱  (BH07030A) ,  ビーム-プラズマ相互作用  (BJ02034N)

引用文献 (12件)：

• 1) G. G. Tibbetts: J. Chem. Phys. 70 (1979) 3600.
• 2) D. Spence and O. J. Steingraber: Rev. Sci. Instrum. 59 (1988) 2464.
• 3) D. P. Higgins, R. W. McCullough, J. Geddes, M. Schlapp, J. Woolsey, E. Salzborn and H. B. Gilbody: Nucl. Instrum. & Methods B103 (1995) 508.
• 4) J. E. Pollard: Rev. Sci. Instrum. 63 (1992) 1771.
• 5) S. Kumar and P. K. Ghosh: Chem. Phys. Lett. 179 (1991) 463.

タイトルに関連する用語 (5件)： 体積 ,  プラズマ ,  窒素分子 ,  高度 ,  解離