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J-GLOBAL ID：200902169247377804   整理番号：02A0435877

スパッタリング法による薄膜3層構造を有した固体酸化物燃料電池の作製条件の検討

Preparation of Solid Oxide Fuel Cell Having a Three-Layer Film Structure Grown by RF Magnetron Sputtering.

著者 (3件)： 出石晃之 (大阪工大 工) ,  岡山英夫 (大阪工大 工) ,  長田昭義 (大阪工大 工)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 45  号： 3  ページ： 305-308  発行年： 2002年03月20日 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： rfマグネトロンスパッタリングにより固体酸化物燃料電池(SO...

シソーラス用語： *固体電解質燃料電池 ,...

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分類 (2件)： 燃料電池  (YB04040V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (4件)：

• 田川博章. 固体酸化物燃料電池と地球環境. 1998
• 長田. 真空. 1999, 42, 3, 151-154
• OKAYAMA, H. Proceedings on The 6th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, ISSP 2001 Committee. 2001, 1, 1, 374-377
• 日本化学会編. 電気・磁気, 丸善. 1991, 170

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタリング法 ,  薄膜 ,  3層構造 ,  固体酸化物燃料電池 ,  作製条件