文献

J-GLOBAL ID：200902169253593497   整理番号：94A0179733

スタック型キャパシタ構造の薄膜SOI-DRAMの諸特性評価

Characteristics of SOI-DRAM with Stacked capacitor Cells.

著者 (8件)： 大芦敏行 (三菱電機) ,  木村広嗣 (三菱電機) ,  栄森貴尚 (三菱電機) ,  日高秀人 (三菱電機) ,  井上靖朗 (三菱電機) ,  西村正 (三菱電機) ,  佐藤真一 (三菱電機) ,  三好寛和 (三菱電機)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 54th  号： 2  ページ： 670  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： スタック ,  キャパシタ ,  薄膜 ,  SOI ,  DRAM ,  特性評価