文献
J-GLOBAL ID：200902169269462481   整理番号：94A0067365

Characterization of capillary-optic materials for use in x-ray lithography.

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著者 (6件)：
DOZIER C M

DOZIER C M について

(Naval Research Lab., Washington, D.C.)

Naval Research Lab., Washington, D.C. について

, 
BELL M I

BELL M I について

(Naval Research Lab., Washington, D.C.)

Naval Research Lab., Washington, D.C. について

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NEWMAN D A

NEWMAN D A について

(SFA Inc. Landover, MD)

SFA Inc. Landover, MD について

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FREITAG R K

FREITAG R K について

(Naval Research Lab., Washington, D.C.)

Naval Research Lab., Washington, D.C. について

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BROWN D B

BROWN D B について

(Naval Research Lab., Washington, D.C.)

Naval Research Lab., Washington, D.C. について

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ROSENSTOCK H B

ROSENSTOCK H B について

(SFA Inc. Landover, MD)

SFA Inc. Landover, MD について


資料名：
Materials Aspects of X-Ray Lithography  (Materials Aspects of X-Ray Lithography)

Materials Aspects of X-Ray Lithography について


ページ： 169-174  発行年： 1993年 
JST資料番号： K19930661  ISBN： 1-55899-202-2  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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