文献

J-GLOBAL ID：200902169281057177   整理番号：94A0025861

シラン系ラジカルの衝突反応係数の測定

Measurement of collision reaction coefficient of a silane system radical.

著者 (4件)： 市川幸美 (富士電機総研) ,  酒井博 (富士電機総研) ,  鬼頭英至 (武蔵工大) ,  堤井信力 (武蔵工大)
資料名： 電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： EP-93  号： 70-75.77-84  ページ： 31-37  発行年： 1993年11月12日 
JST資料番号： Z0951A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： a-SiGe:H膜生成のための基礎的な研究として,SiH<s...

シソーラス用語： ラジカル反応 ,...
準シソーラス用語： レーザ誘起蛍光

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分類 (2件)： プラズマ診断  (BJ02090L) ,  荷電体衝撃・放電による反応  (CB06020R)

タイトルに関連する用語 (4件)： シラン ,  ラジカル ,  衝突 ,  反応係数