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J-GLOBAL ID：200902169533795958   整理番号：94A0195429

金属薄膜成長における基板バイアス効果

The effects of substrate bias on the growth of metal thin film.
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著者 (2件)：
新井一喜

新井一喜 について

(東ソー)

東ソー について

, 
樋口真次

樋口真次 について

(東ソー)

東ソー について


資料名：
応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)

応用物理学会学術講演会講演予稿集 について


巻： 54th  号： 2  ページ： 404  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
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タイトルに関連する用語
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金属薄膜

金属薄膜 について

, 
成長

成長 について

, 
基板バイアス効果

基板バイアス効果 について


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