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J-GLOBAL ID：200902170068656880   整理番号：95A0161680

シリコン内部で合成された共振型赤外線センサの製造とパッケージング

Fabrication and packaging of a resonant infrared sensor integrated in silicon.

著者 (6件)： CABUZ C (‘Politehnica’ Univ. Bucharest, Bucharest, ROM) ,  SHOJI S (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  FUKATSU K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  CABUZ E (Automatica SA,, Bucharest, ROM) ,  MINAMI K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ESASHI M (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 43  号： 1/3  ページ： 92-99  発行年： 1994年05月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコンと酸化シリコンで作った微少橋の共振周波数は,熱的に誘...

シソーラス用語： 赤外検出器 ,...

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分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  光集積回路,集積光学  (BD06050D)

タイトルに関連する用語 (4件)： シリコン ,  共振 ,  赤外線センサ ,  パッケージング