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J-GLOBAL ID：200902170081416936   整理番号：98A0172268

レーザプラズマ光源を備えたX線光電子分光法

X-ray photoelectron spectroscopy with a laser-plasma source.

著者 (4件)： TOMIE T (Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN) ,  KONDO H (Nikon Tsukuba Res. Lab., Ibaraki, JPN) ,  SHIMIZU H (Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN) ,  LU P
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 3157  ページ： 176-183  発行年： 1997年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 将来のnmデバイスの研究には電子的および化学的状態がnm分解...

シソーラス用語： *レーザプラズマ ,...

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分類 (2件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K) ,  X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (3件)： レーザ ,  プラズマ光源 ,  X線光電子分光法