文献

J-GLOBAL ID：200902170292061140   整理番号：98A0617712

水素化ダイヤモンド様炭素膜のEELS解析

EELS analysis of hydrogenated diamond-like carbon films.

著者 (6件)： PONSONNET L (Ecole Centrale de Lyon, Ecully, FRA) ,  DONNET C (Ecole Centrale de Lyon, Ecully, FRA) ,  VARLOT K (Ecole Centrale de Lyon, Ecully, FRA) ,  MARTIN J M (Ecole Centrale de Lyon, Ecully, FRA) ,  GRILL A (IBM Res. Div., NY, USA) ,  PATEL V (IBM Res. Div., NY, USA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 319  号： 1/2  ページ： 97-100  発行年： 1998年04月29日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： PACVD法で作製した標記水素化DLC膜のEELSによる構造...

シソーラス用語： *炭素材 ,...
準シソーラス用語： DLC【炭素】 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=98A0617712&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0899A") }}

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  電子分光法  (BK01050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 水素化 ,  ダイヤモンド様炭素 ,  EELS ,  解析