PZTの圧電特性  (Zr/Ti)比およびNb置換の効果

HACCART T; SOYER C; CATTAN E; REMIENS D

文献

J-GLOBAL ID：200902170695958379 整理番号：01A0748838

PZTの圧電特性 (Zr/Ti)比およびNb置換の効果

Piezoelectric Properties of PZT: Influence of (Zr/Ti) Ratio and Niobium Substitution.

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巻： 254 号： 1/4 ページ： 185-195 発行年： 2001年03月
JST資料番号： D0777A ISSN： 0015-0193 CODEN： FEROA8 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

rfマグネトロンスパッタリングによりPt/Ti/SiO<su...

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酸化物薄膜

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