単層オーバコートを伴うイオン補助堆積によって作製した透明酸化インジウムすず薄膜

文献

J-GLOBAL ID：200902170846456478 整理番号：99A0675792

Transparent indium tin oxide films prepared by ion-assisted deposition with a single-layer overcoat.

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巻： 38 号： 6 ページ： 953-957 発行年： 1999年06月
JST資料番号： B0577B ISSN： 0091-3286 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

低抵抗率と可視領域で高透過率を持つ酸化インジウムすず(ITO...

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酸化物薄膜

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