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J-GLOBAL ID：200902170994841356 整理番号：02A0392146
MOCVD法による酸化ルテニウム膜の合成
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資料名：
日本セラミックス協会年会講演予稿集
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巻：
2002
ページ：
268
発行年：
2002年03月24日
JST資料番号：
X0505A
資料種別：
会議録 (C)
記事区分：
短報
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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