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J-GLOBAL ID：200902171027404392   整理番号：97A0185458

ダイヤモンド(001)基板上のホモエピタキシャル膜の成長と評価 II

Characterization of thick homoepitaxial film on diamond (001) substrate. II.

著者 (3件)： 築野孝 (住友電気工業) ,  太田進啓 (住友電気工業) ,  熊沢佳明 (住友電気工業)
資料名： ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
巻： 9th  ページ： 60-61  発行年： 1995年11月 
JST資料番号： L1241A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： ダイヤモンド ,  ホモ ,  エピタキシャル膜 ,  成長 ,  評価