MICHEL B について
IBM Res., Rueschlikon, CHE について
BERNARD A について
LifeBits AG, Tuebingen, DEU について
BIETSCH A について
IBM Res., Rueschlikon, CHE について
DELAMARCHE E について
IBM Res., Rueschlikon, CHE について
GEISSLER M について
IBM Res., Rueschlikon, CHE について
Univ. California, California について
RENAULT J-P について
Commissariat a l’Energie Atomique, Gif Sur Yvette, FRA について
SCHMIDT-WINKEL P について
Merck AG, Damstadt, DEU について
IBM Res., Rueschlikon, CHE について
IBM Journal of Research and Development について
リソグラフィー について
固体デバイス製造技術一般 について
リソグラフィー について
高分解能 について
手法 について