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J-GLOBAL ID：200902171505925859   整理番号：96A0911922

単結晶SiC材料の超精密ELID研削

Ultraprecision ELID-Grinding of Monocrystalline Silicon Carbide.
著者 (2件)：
大森整

大森整 について

(理研)

理研 について

, 
松沢隆

松沢隆 について

(理研)

理研 について


資料名：
日本機械学会東北支部地方講演会講演論文集

日本機械学会東北支部地方講演会講演論文集 について


巻： 1996  号： Hachinohe  ページ： 411-412  発行年： 1996年08月 
JST資料番号： L0150A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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電子・光学材料として注目されている単結晶SiCを,超微細砥粒...
シソーラス用語：
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炭化ケイ素

炭化ケイ素 について

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分類 (1件)：
分類
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セラミック・陶磁器の製造 
(YC03020V)

セラミック・陶磁器の製造 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
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超精密

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ELID研削

ELID研削 について


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