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J-GLOBAL ID：200902171667436134   整理番号：99A0636374

マイクロ光学によるシリコンベンチの集積化

Integration of Silicon Bench with Micro Optics.

著者 (6件)： HAN H (Digital Optics Corp., NC) ,  STACK J D (Digital Optics Corp., NC) ,  MATHEWS J (Digital Optics Corp., NC) ,  KOEHLER C S (Digital Optics Corp., NC) ,  JOHNSON E (Digital Optics Corp., NC) ,  KATHMAN A D (Digital Optics Corp., NC)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 3631  ページ： 234-243  発行年： 1999年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロ ,  光学 ,  シリコン ,  ベンチ ,  集積化