特集 マイクロマシン 通産省産業科学技術研究開発制度に基づく「マイクロマシン技術」研究開発の概要

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J-GLOBAL ID：200902171963764910 整理番号：94A0537831

特集マイクロマシン通産省産業科学技術研究開発制度に基づく「マイクロマシン技術」研究開発の概要

Special issue. Micromachine. National R&D Program for Micro Machine Technologies.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 12 号： 4 ページ： 508-513 発行年： 1994年05月
JST資料番号： Y0482A ISSN： 0289-1824 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：科学技術に関する方策発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

産技制度はテクノグローバリズムを基本的な理念に据えた推進を行...

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固体デバイス製造技術一般 , 研究開発

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