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J-GLOBAL ID：200902172098384518   整理番号：00A1061466

CF4-Ar混合気体中のプラズマモデル記述のための輸送係数と散乱断面積

Transport coefficients and scattering cross-sections for plasma modelling in CF4-Ar mixtures: a swarm analysis.
著者 (3件)：
KURIHARA M

KURIHARA M について

(Keio Univ., Yokohama, JPN)

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, 
PETROVIC Z L

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(Keio Univ., Yokohama, JPN)

Keio Univ., Yokohama, JPN について

, 
MAKABE T

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(Keio Univ., Yokohama, JPN)

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資料名：
Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)

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巻： 33  号： 17  ページ： 2146-2153  発行年： 2000年09月07日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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プラズマプロセシングとの関連で,標記混合気体中のプラズマにお...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*輸送現象

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分類 (2件)：
分類
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プラズマ一般 
(BJ02010B)

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タイトルに関連する用語 (7件)：
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混合気体

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, 
プラズマ

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モデル

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記述

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輸送係数

輸送係数 について

, 
散乱断面積

散乱断面積 について


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