RFマグネトロンスパッタリングにより成長させた三層膜構造の固体酸化物燃料電池素子の特性

文献

J-GLOBAL ID：200902172278757711 整理番号：02A0687201

Characterization of solid oxide fuel cell device having a three-layer film structure grown by RF magnetron sputtering.

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巻： 66 号： 3/4 ページ： 523-529 発行年： 2002年08月19日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

RFマグネトロンスパッタリングにより,Ni/YSZ/Ni構造...

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燃料電池 , 酸化物薄膜

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